可由長期連續作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進人發生咬合、橡膠避震器溫太高、橡膠避震器等配合間隙太小、電壓太高、橡膠避震器液返入橡膠避震器內太多等引起，會使電機損壞。應盡量避免在大功率附近長期連續運轉。如果表面有沉積物，要定期拆開清除。極限壓力不達標。可由外漏、內漏、孔堵塞、橡膠避震器質量不良或污染變質、有汽等可凝性物質、儀器儀表失真、橡膠避震器運轉不正常等引起。外漏較多時，排氣口可看到白色蒸汽。標處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力。低排氣閥處面有較多氣泡。功率會有所增加。這時，首先應檢查氣鎮閥是否已關好。由于新橡膠避震器出廠每臺都在橡膠避震器口測極限壓力，所以如有外漏現象，應對橡膠避震器口及、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、杯無、孔悶頭漏氣也可造成外漏。
內漏可由橡膠避震器內的運動間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內軸封、橡膠避震器蓋平面、進氣管、氣鎮閥密封件等引起。磨損、腐蝕、咬合會使運轉間隙加大。孔阻塞時，打開加孔聽，橡膠避震器的噪聲會較輕，在箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺，排氣閥可能失效。如果橡膠避震器清潔，長期存放未用，可開氣鎮閥凈化橡膠避震器內汽。若無效，要檢杏儀表。若橡膠避震器發黃發白已乳化，可全開氣鎮，調大氣鎮量凈化運轉，必要時可在橡膠避震器口放入適量氣體運轉，可加快凈化過程。若抽入其他揮發性氣體或液體，要及時換，必要時請洗箱。有些橡膠避震器，在間氣道里會沉積橡膠避震器液，為取得好的換效果，要設法把沉積橡膠避震器液排出。極限壓力是用座式壓縮式銀真空計測量的。用經校準的熱偶真空計等全壓力計測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計的規管要配對校準。建議備用一只同時校準的規管，以備懷疑規管污染失真時進行對比。極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使極限全壓力升高。可以參照上述介紹來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。橡膠避震器的結構設計，電機與橡膠避震器軸承的噪聲，橡膠避震器等運動件是否滑暢、進量太多、風扇、傳動件產生的噪聲、進氣量大，開氣鎮運轉、擋板等橡膠避震器內零件松動，安裝不平等引起振動，都會影響橡膠避震器的噪聲。防止噴用的盒回孔的大小、位置、密封狀況,擋板的設計、安裝,排氣口部分的減霧器、擋帽、氣分離器，位的高低，進量的大小，都會影響橡膠避震器的噴，橡膠避震器門敞開抽大氣時，直聯橡膠避震器排氣口的氣流速度可以高達30m/s，吹開面時，橡膠避震器內的循環和氣流帶出的就將考驗防止噴的各項措施。
有些橡膠避震器有橡膠避震器，有分離器，有路上的單向閥，有消霧器，有入口過濾器(防蒸汽返流用)，有入口灰塵過濾器等部件或附件，也要進行檢查。橡膠避震器失效將使橡膠避震器的潤滑和密封失效，消霧器失效，有可能使排氣壓力升高，功率加大，損壞電機，入口過濾器失效可使進氣阻力增大，抽速下降，抽氣效率下降。